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飞思卡尔向英国STS购支持200mm硅深度离子蚀刻设备

文章来源：最新采集发布时间:2008/7/24 8:55:14 【关闭】

英国Surface Technology Systems plc（STS）宣布，美国飞思卡尔半导体（Freescale Semiconductor）已采用其硅深度离子蚀刻模块“Pegasus”。此次所订购的是支持组合型的200mm晶圆设备，是该公司累计的第100个Pegasus订单。

对于飞思卡尔，此次订购的Pegasus将用于其美国德克萨斯州Austin的Oak Hill工厂，用于正在导入的支持200mm晶圆的MEMS生产线。飞思卡尔正在推进通过MEMS传感器的低成本化和小型化来扩大汽车领域之外的其他用途的战略。

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