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行业新闻

碳化硅单晶炉在山东研制成功

文章来源：中国研磨网发布时间:2008/8/13 8:51:48 【关闭】

近期，山东省光电子产业取得突破性进展，山东大学晶体材料国家重点实验室碳化硅单晶炉研制成功，制约山东光电子发展的主要瓶颈已被打破。
　　
山东大学晶体材料国家重点实验室继碳化硅生长加工技术和器件应用取得突破之后，在消化吸收国外单晶炉的基础上，综合多年单晶生长和半导体薄膜外延的经验，集成创新，成功地研制出2英寸碳化硅单晶炉，并生长出了2英寸碳化硅单晶。
　　
碳化硅单晶产业化最后的一个难关被成功攻破，实现了从单晶生长炉制造、单晶生长、衬底加工和应用的全部国产化。单晶炉的研发成功为我们走有山东特色的半导体照明奠定了坚实的基础，填补了国内空白，打破了国外垄断。

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