| 韩国三星电子在“FPD International 2008”上展出了全部TFT工序采用纳米印刷制造而成的液晶面板试制品。试制的液晶面板为12.1英寸，像素为1280×800的WXGA。由采用树脂模型的UV（紫外线）纳米印刷技术制作而成。
该公司采用的UV纳米印刷制造工艺的制作过程如下。
（1）在玻璃底板上涂布成形用的构造材料，然后在上面涂布UV硬化树脂。
（2）将树脂模型压在UV硬化树脂上，从模型的上方照射紫外光，将模型的图案转印到UV硬化树脂上。
（3）将树脂模型从UV硬化树脂上剥离下来。
（4）把UV硬化树脂用作掩模（Mask），对构造材料进行蚀刻。
（5）除去蚀刻后残余的树脂。反复进行上述的一系列工艺，最终形成TFT。
之所以从多种纳米印刷技术中选择UV纳米印刷，该公司列出了三个原因：“适合大面积制作”，“可实现高解像度”，“易于降低制造成本”。比如采用热纳米印刷时，面积越大，面内温度越难以确保均匀，而且还存在由于树脂的热胀冷缩而对质量影响较大的问题。
此次开发的UV纳米印刷工艺可以转印最小线宽为2～3μm的图案。由于模型的原版可转印最小线宽为1μm，所以生产转印用树脂模型时的制造精度还有很大的提高余地。 |
